2001年，光机电一体化产业基地在通州台湖呱呱坠地；五年后，它被正式纳入中关村国家自主创新示范区。眼下，“十三五”已经开局，京津冀协同发展、非首都功能疏解……站在经济转型发展的又一个十字路口，规划面积7.5平方公里的光机电一体化产业基地正以“双创”为引擎，疾驰在构建“高精尖”经济结构的高速路上。本报从光机电一体化产业基地474家企业中，遴选出颇具代表性的12家企业逐一走访，希望通过讲述它们的故事，勾勒出一个厚积薄发的产业园区轮廓。而这也正是北京转身的鲜活写照。

　　说起光机电一体化产业基地（以下简称“光机电基地”）打造“高精尖”的产业体系，不能不提到北京中科信电子装备有限公司（以下简称“中科信”）。作为一家由中国电子科技集团公司及其第48研究所共同组建的高新技术企业，连续承担了国家集成电路重大装备——离子注入机的研发和生产重任。目前，中科信主要从事离子注入机、快速退火炉等装备研发、制造，以及太阳能电池片及组件生产、分布式光伏太阳能站建设，迈入了中关村国家自主创新示范区创新型企业、北京市高新技术企业的行列。

　　从离子注入机到产业化平台

　　中科信占地面积107亩，注册资金3亿元，于2003年6月入驻光机电基地，现有职工400人。值得一提的是，作为一家高新技术企业，中科信是当前国内惟一从事离子注入机研发和制造的专业公司。

　　什么是离子注入？中科信负责人介绍说，离子注入技术是近30年来在国际上蓬勃发展和广泛应用的一种材料表面改性高新技术，具有“多样性、不改变、牢固性、不受限”等优势，可提高电路的集成度、开启速度、成品率和寿命。在当代制造大规模集成电路中，是一种必不可少的技术手段。

　　“集成电路被喻为‘工业粮食’，是所有整机设备的‘心脏’。离子注入机研发和制造水平关系到国家安全。”中科信负责人表示，多年来，中科信肩负着国家“十五”、“十一五”和“十二五”离子注入机研发的使命，公司倾注了大量心血。经过努力攻关，终于实现了系列化研制目标，在离子注入机整体研制水平、工程制造能力、系统集成能力、工艺调试与维护体系等方面得到大幅提升，并建设了离子注入机产业化平台，已具备6-12寸低、中、高能注入机稳定供应能力。

　　特别是在所承担的“十一五”国家科技部02专项（极大规模集成电路制造技术及成套工艺）——12寸中束流离子注入机研发及产业化项目中，中科信联合高校和科研院所，并与国内主流集成电路生产企业建立合作，将这个项目打造成为了“产、学、研、用”创新模式的成功典范。这个设备已在中芯国际大生产线实施批量采购。

　　离子注入机研发实现的技术跨越，不仅为国家自主创新和国家安全做出了贡献，同时也为中科信的发展和后续产业化奠定了坚实基础。目前，在中科信的努力下，离子注入技术已拓展到更多领域，如IGBT工艺用离子注入机、碳化硅工艺用离子注入机、电池工艺用离子注入机等，产生了更多的社会效益和经济效益。

　　光伏产品同台竞争国际品牌

　　除了致力于以离子注入为主的电子专用装备，多年来，中科信还在以太阳能电池为主的新能源技术领域取得了喜人的新突破。

　　走进中科信，会看到一片蔚为壮观的亮丽景观——宽阔的厂房屋顶上，成千上万片深蓝色的光伏电池张开无形手臂，紧抓住每一缕阳光，将它们转化为电能，并源源不断输送进厂区。

　　据介绍，这些连成片的太阳能组件，总面积达15万平方米，相当于21个标准足球场，每年可发电1600万千瓦时，相当于节约标准煤约5400吨，减少二氧化碳排放1.6万吨、 二氧化硫540吨、碳氧化合物270吨。这是中科信2014年建成的、目前北京最大单体分布式电站——15MWp光伏并网发电示范工程项目，已经成为北京地区的样板。太阳能发电具有安全、无噪声、无需消耗燃料、无污染排放等优点，因此正越来越多地被运用。

　　与北京城市副中心建设理念相适应，多年来，为助力打造绿色、低碳、环保型园区，中科信致力于以太阳能电池为主的新能源技术的研发和生产，目前已经成为北京地区规模最大的光伏产品生产企业，其生产的太阳能光伏电池、光伏组件直接与行业一流品牌对标，具备与国际主流品牌同台竞争的能力，产品畅销国内外。据统计，2015年中科信主营业务实现收入14.64亿元，纳税1738万元。

　　光伏产品研创中心启航

　　回顾历史，满怀骄傲；展望未来，引吭高歌。中科信负责人表示，今后，在光机电基地推进以创新创业资源为支点转型升级的发展大潮中，中科信将持续为首都的节能减排、大气环境改善、雾霾治理等环境改善履行企业的社会责任。为此，将立足北京，打造光伏产品研发、创新中心；将拓展光伏领域，在北京大力推行分布式光伏电站；将以现有产线为基础，进行智能制造示范应用，实现关键零部件自主可控；同时，将在装备子集团的统一规划下，进行资源整合，实现集成电路装备与新能源分板块上市。